[发明专利]连续性工艺的趋势变量鉴定方法与系统有效
| 申请号： | 201710078716.7 | 申请日： | 2017-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN108090241B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 夏启峻;叶峻宾;陈立杰;庄雅筑 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G06Q10/06;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王珊珊 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 连续性工艺的趋势变量鉴定方法及系统。连续性工艺的趋势变量鉴定方法包括以下步骤：在时间序列选择出数个相似时段。各个相似时段与一目前时段相似。依据此些相似时段的数个工艺变量的数个时序变量参数及一监控目标的时序目标参数，分析各个工艺变量对监控目标的一贡献度。依据各个贡献度，筛选出部分的工艺变量。 | ||
| 搜索关键词： | 连续性 工艺 趋势 变量 鉴定 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种连续性工艺的趋势变量鉴定方法，包括：提取多个工艺变量在时间序列上的多笔时序变量参数及监控目标在该时间序列上的多笔时序目标参数；在该时间序列选择出多个相似时段，各该相似时段与目前时段相似；依据这些相似时段的这些时序变量参数及这些时序目标参数，分析各该工艺变量对该监控目标的贡献度；以及依据各该贡献度，筛选出部分的这些工艺变量。
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