[发明专利]加工装置

摘要

本发明提供加工装置，在对加工用的工具进行支承的空气轴承中，能够将空气轴承的咬接现象防患于未然。加工装置的加工构件包含：主轴；主轴外壳，在该主轴外壳中配设有利用空气对该主轴进行支承的空气轴承；以及工具，其安装在该主轴的前端。该主轴外壳具有：空气提供口，其与对该空气轴承提供空气的空气提供路连通；以及排气口，其与排气路连通并将空气从该空气轴承排出，在从空气源到该空气提供口的空气提供路径上配设有压力计和流量计，对该压力计检测出的压力值设定第1容许值，对该流量计检测出的流量值设定第2容许值。

主权项

一种加工装置，该加工装置包含：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；以及加工构件，其对该卡盘工作台所保持的被加工物实施加工，该加工装置的特征在于，该加工构件具有：主轴；主轴外壳，其将该主轴支承为能够旋转，并且该主轴外壳具有空气提供路、与该空气提供路连接的空气提供口、排气路以及与该排气路连接的排气口，空气轴承，在该主轴与该主轴外壳之间划分出该空气轴承，该空气轴承与该空气提供路和该排气路连通而利用高压空气对该主轴进行支承；工具，其安装在该主轴的前端；高压空气源；空气提供路径，其将该高压空气源与该空气提供口连接；压力计，其配设在该空气提供路径上；以及流量计，其配设在该空气提供路径上，对该压力计检测出的压力值设定第1容许值，对该流量计检测出的流量值设定第2容许值。