[发明专利]准分子激光退火工序用激光束调节模块有效
| 申请号： | 201710080493.8 | 申请日： | 2017-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN107150181B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 崔东奎;白种化;朴宰显;金炳秀 | 申请（专利权）人： | AP系统股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70;B23K26/38;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 罗银燕 |
| 地址： | 韩国京畿道华城市东*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为准分子激光退火工序用激光束调节模块，上述准分子激光退火工序用激光束调节模块用于调节向基板照射的激光束的长度，上述准分子激光退火工序用激光束调节模块包括：激光束切割机，与上述激光束的移动方向垂直地配置，在内部设有包括制冷剂的冷却单元；制冷剂供给部，形成于上述激光束切割机的一侧，用于向上述冷却单元的内部循环供给上述制冷剂；检测部，用于检测上述冷却单元的温度；以及控制部，用于控制上述制冷剂的温度及流量。 | ||
| 搜索关键词： | 准分子激光 退火 工序 激光束 调节 模块 | ||
【主权项】：
一种准分子激光退火工序用激光束调节模块，用于调节向基板照射的激光束的长度，其特征在于，包括：激光束切割机，与上述激光束的移动方向垂直地配置，在内部设有包括制冷剂的冷却单元；制冷剂供给部，形成于上述激光束切割机的一侧，用于向上述冷却单元的内部循环供给制冷剂；检测部，用于检测上述冷却单元的温度；以及控制部，根据通过上述检测部检测的上述冷却单元的温度来控制在上述制冷剂供给部循环供给的制冷剂的温度及流量。
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