[发明专利]一种曝光显影工艺在审
| 申请号： | 201710081126.X | 申请日： | 2017-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN106707688A | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 周群飞;饶桥兵;李隆东 | 申请（专利权）人： | 蓝思科技（长沙）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 410311 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种曝光显影工艺，包括以下步骤A)将基板进行清洗，在清洗后的基板表面涂布感光材料；B)将涂布后的基板进行预烤，在预烤后的基板表面再次涂布感光材料；C)将步骤B)得到的基板再次进行预烤，将预烤后的基板依次进行曝光与显影；D)将步骤C)得到的基板进行固烤。相比于现有工艺流程，其减少了一次曝光、一次显影、一次固烤与一次清洗上述四个步骤，而减少了工艺流程，提高了生产效率，且提高了制程良率。实验结果表明，本申请的曝光显影工艺针对白色玻璃盖板的曝光显影，良率可达95.5％以上，砂眼率低于1.1％，透光率低于1.5％，牙缺率低于1.9％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 显影 工艺 | ||
【主权项】：
一种曝光显影工艺，包括以下步骤：A)，将基板进行清洗，在清洗后的基板表面涂布感光材料；B)，将涂布后的基板进行预烤，在预烤后的基板表面再次涂布感光材料；C)，将步骤B)得到的基板再次进行预烤，将预烤后的基板依次进行曝光与显影；D)，将步骤C)得到的基板进行固烤。
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