[发明专利]一种电子源产生装置及电子束控制方法有效
| 申请号： | 201710082088.X | 申请日： | 2017-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN106711003B | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 李帅;何伟 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/21 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 张颖玲;李梅香 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种电子源产生装置，其特征在于，所述装置包括：电子枪、电极、光阑组和电磁透镜；其中，所述电子枪，用于发射电子束；所述电极，用于对所述电子束进行加速；所述光阑组包括一个移动装置和多个不同孔径的光阑，通过调节所述移动装置控制加速后的电子束经过所述光阑组中的一个光阑；所述电磁透镜，用于对经过所述光阑的电子束进行会聚，形成电子源。本发明实施例还公开了一种电子束控制方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 产生 装置 电子束 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电子源产生装置，其特征在于，所述装置包括：电子枪、电极、光阑组和电磁透镜；其中，所述电子枪，用于发射电子束；所述电极，用于对所述电子束进行加速；所述光阑组包括一个移动装置和多个不同孔径的光阑，通过调节所述移动装置控制加速后的电子束经过所述光阑组中的一个光阑；所述电磁透镜，用于对经过所述光阑的电子束进行会聚，形成电子源；所述电磁透镜产生的会聚磁场覆盖所述电子枪及所述光阑组，且所述光阑组位于所述会聚磁场分布的中心位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于聚束科技（北京）有限公司，未经聚束科技（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710082088.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：贴片熔断器
- 下一篇：高离子引出效率的离子阱飞行时间质谱仪及其实现方法
