[发明专利]一种温度及磁场薄膜传感器及其数据采集分析系统

摘要

本发明公开了一种基于温度及磁场薄膜传感器的数据采集分析系统，包括薄膜传感器和数据采集分析模块，所述薄膜传感器包括石英衬底，石英衬底上镀有锰氧化物薄膜，锰氧化物薄膜上镀有金属电极Ⅰ和Ⅱ，金属电极Ⅰ和Ⅱ通过焊盘与外界导线连接，锰氧化物薄膜上覆盖有钝化保护层；所述数据采集分析模块包括恒流源，恒流源的输出端以及电压放大电路的输入端均与薄膜传感器通过焊接在金属电极上的金属引线相连接，薄膜传感器上的电压信号经由电压放大电路进行放大，电压放大电路与数据采集器相连，电压信号由数据采集器采集并传送到计算机。本发明能实现同时或分时对温度和磁场的测量，选用薄膜传感材料，使得设备体积较小，降低了其对测试环境的影响。

主权项

基于温度及磁场薄膜传感器的数据采集分析系统，包括薄膜传感器2和数据采集分析模块，其特征在于：所述薄膜传感器2包括石英衬底7，所述石英衬底7上镀有锰氧化物薄膜9，所述锰氧化物薄膜9上镀有金属电极Ⅰ8和金属电极Ⅱ10，所述金属电极Ⅰ8和金属电极Ⅱ10通过焊盘分别连接一金属引线，所述锰氧化物薄膜9上覆盖有钝化保护层13；所述数据采集分析模块包括恒流源1、电压放大电路3、数据采集器4和计算机5，所述恒流源1的两端分别与薄膜传感器2通过焊接在金属电极Ⅰ8和金属电极Ⅱ10上的金属引线相连接，所述电压放大电路3的两个输入端分别与薄膜传感器2通过焊接在金属电极Ⅰ8和金属电极Ⅱ10上的金属引线相连接，所述薄膜传感器2上的电压信号经由电压放大电路3进行放大，所述电压放大电路3与数据采集器4相连，数据采集器4采集电压信号并传送到计算机5。