[发明专利]气体传感器装置、气体传感器模块及气体检测方法有效
| 申请号： | 201710085593.X | 申请日： | 2017-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN107436313B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 魏志强;本间运也;片山幸治;藤井觉 | 申请（专利权）人： | 新唐科技日本株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周欣;陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够兼顾低消耗电力和高灵敏度的气体传感器装置。所述气体传感器装置具备多个气体传感器元件和多个开关。多个开关分别与多个气体传感器元件中的对应的1个串联地连接。各气体传感器元件具备第1导电层、第2导电层、配置在第1导电层及第2导电层之间的金属氧化物层和绝缘膜，所述绝缘膜被覆第1导电层、第2导电层及金属氧化物层，且具有使第2导电层的一部分露出的开口。各气体传感器元件的电阻值在含有氢原子的气体与第2导电层相接触时减小。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传感器 装置 模块 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种气体传感器装置，其具备多个气体传感器元件和多个开关；所述多个开关分别与所述多个气体传感器元件中的对应的1个串联连接；所述多个气体传感器元件分别具备：第1导电层，第2导电层，金属氧化物层，其配置在所述第1导电层及所述第2导电层之间，包含块状区域和局部区域，所述局部区域被所述块状区域围着，且具有比所述块状区域大的欠氧度，绝缘膜，其被覆所述第1导电层、所述第2导电层及所述金属氧化物层，且具有使所述第2导电层的一部分露出的开口；所述多个气体传感器元件各自的电阻值在含有氢原子的气体与所述第2导电层相接触时减小。
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