[发明专利]一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块在审
| 申请号： | 201710086055.2 | 申请日： | 2017-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN106744751A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 刘朝明;鲁骥;黄卫 | 申请（专利权）人： | 安徽万瑞冷电科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00 |
| 代理公司： | 安徽中天恒律师事务所34121 | 代理人： | 朱娅娟 |
| 地址： | 230088 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块，所述检漏仪包括检漏模块和氦气纯化模块，所述氦气纯化模块的出气端与检漏模块的进气端通过管道连接，所述氦气纯化模块的进气端与检漏模块的出气端通过管道连接，所述氦气纯化模块包括进气端与检漏模块的出气端连接的第一缓冲罐、进气端与第一缓冲罐的出气端通过第一管道连通的第一纯化装置，所述第一纯化装置的出纯气端根据其排出的氦气纯度选择性地与检漏模块的进气端或者第一缓冲罐的进气端连通。该氦气纯化模块属于检漏仪的一部分，结构紧凑，占地面积小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 嵌入 检漏 中的 氦气 纯化 模块 | ||
【主权项】：
一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块，所述检漏仪包括检漏模块和氦气纯化模块，所述氦气纯化模块的出气端与检漏模块的进气端通过管道连接，所述氦气纯化模块的进气端与检漏模块的出气端通过管道连接，其特征在于，所述氦气纯化模块包括进气端与检漏模块的出气端连接的第一缓冲罐、进气端与第一缓冲罐的出气端通过第一管道连通的第一纯化装置，所述第一纯化装置的出纯气端根据其排出的氦气纯度选择性地与检漏模块的进气端或者第一缓冲罐的进气端连通。
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