[发明专利]一种构建局部清洁环境保护薄膜生长的装置

摘要

本发明涉及薄膜生产技术领域，特别涉及一种构建局部清洁环境保护薄膜生长的装置，包括有底座和方形的罩体，罩体与底座可拆卸连接，底座上放置有旋涂仪和加热装置，旋涂仪和加热装置置于罩体内，罩体至少一个侧板上设置有进气孔，进气孔上安装有快速接头，罩体内安装有温湿度传感器，罩体外设有控制器，温湿度传感器和电磁阀均与控制器电性连接，罩体的前侧板为透明材质，前侧板的上端与顶板连接，其下端与底座之间设有敞开的操作窗。本发明装置制作简单，成本较低，但能提供制备活性层CH3NH3PbI3的局部清洁氛围。制备活性层的CH3NH3PbI3局部清洁氛围，对CH3NH3PbI3成膜覆盖率及表面的光滑程度影响较大，实验效果更为明显。

主权项

一种构建局部清洁环境保护薄膜生长的装置，其特征在于：包括有底座(1)和方形的罩体(2)，该罩体(2)设有顶板(2a)、前侧板(2b)、左侧板(2c)、右侧板(2d)和后侧板(2e)，所述罩体(2)与底座(1)可拆卸连接，所述底座(1)上放置有旋涂仪(3)和加热装置(4)，所述旋涂仪(3)和加热装置(4)置于罩体(2)内，所述罩体(2)至少一个侧板上设置有进气孔，所述进气孔上安装有快速接头(5)，该快速接头(5)通过气管与气泵连接，所述气管上安装有电磁阀，所述罩体(2)内安装有温湿度传感器(6)，所述罩体(2)外设有控制器(7)，所述温湿度传感器(6)和电磁阀均与控制器(7)电性连接，所述罩体(2)的前侧板(2b)为透明材质，所述前侧板(2b)的上端与顶板(2a)连接，其下端与底座(1)之间设有敞开的操作窗(2g)。