[发明专利]一种利用两个声表面波谐振器分离温度影响的装置及方法在审
| 申请号： | 201710089576.3 | 申请日： | 2017-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN106895803A | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 彭斌;崔亦霖;张万里;喻恒;邓泽佳;刘兴钊 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01B17/04 | 分类号： | G01B17/04 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心51203 | 代理人： | 张杨 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 该发明公开了一种利用两个声表面波谐振器分离温度影响的装置及方法，属于声表面波传感器的设计领域。该装置包括两个声表面波谐振器，所述的两个声表面波谐振器沿待测件的主应变方向设置于待测件上，且两个声表面波谐振器的声表面波传播方向与待测件的主应变方向相同，所述声表面波谐振器包括压电基底和设置于压电基底上的电极；其特征在于所述两个声表面波谐振器压电基底材料的切向不同，并在其中一个声表面波谐振器的压电基底上设置一层覆盖电极且使两个声表面波谐振器的转变温度相同的薄膜。该装置利用两个器件温度参数相同，应变参数不同的特性，抵消掉温度参数对声表面波器件的影响，最终实现对应变的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 两个 表面波 谐振器 分离 温度 影响 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种利用两个声表面波谐振器分离温度影响的装置，该装置包括：两个声表面波谐振器，所述的两个声表面波谐振器沿待测件的主应变方向设置于待测件上，且两个声表面波谐振器的声表面波传播方向与待测件的主应变方向相同，所述声表面波谐振器包括压电基底和设置于压电基底上的电极；其特征在于所述两个声表面波谐振器压电基底材料的切向不同，并在其中一个声表面波谐振器的压电基底上设置一层覆盖电极且使两个声表面波谐振器的转变温度相同的薄膜。
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