[发明专利]光酸产生单体、自其衍生的聚合物、包括所述聚合物的光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201710089884.6 | 申请日： | 2017-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN107129448B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | E·阿卡德;J·W·萨克莱;J·F·卡梅伦 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C07C309/12 | 分类号： | C07C309/12;C07C309/17;C07C303/32;C07D333/76;C07D317/34;C07D317/72;C07D409/12;C08F220/28;C08F220/18;C08F222/24;C08F220/22;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种单体具有以下结构： |
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| 搜索关键词： | 产生 单体 衍生 聚合物 包括 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
一种具有以下结构的单体：其中R为包含可聚合碳‑碳双键或碳‑碳三键的有机基团；X和Y在每次出现时独立地为氢或非氢取代基；EWG1和EWG2在每次出现时独立地为拉电子基团；p为0、1、2、3或4，其条件为当EWG1和EWG2各独立地为氟基、三氟甲基或五氟乙基时，p为1、2、3或4；n为1、2、3或4；且M+为有机阳离子。
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