[发明专利]发光元件及发光元件的制造方法

摘要

本发明揭露一种发光元件及其制造方法，该发光元件包括基板、接合金属层、导电氧化层、外延层、绝缘层、第一欧姆接触层、第二欧姆接触层、第三欧姆接触层以及导线。接合金属层设置于基板第一部分表面上。导电氧化层设置于接合金属层上。外延层设置于导电氧化层第一部分表面上。绝缘层设置于接合金属层、导电氧化层及外延层第一侧边，以及设置于外延层第一部分表面上。第一欧姆接触层设置于基板第二部分表面上。第二欧姆接触层设置于外延层第二部分表面上。第三欧姆接触层设置于导电氧化层第二部分表面上。导线电性连接第一欧姆接触层及第二欧姆接触层。

主权项

1.一种发光元件的制造方法，包括：设置一第一基板；形成一外延层于该第一基板上；形成一导电氧化层于该外延层上；形成一第一接合金属层于该导电氧化层上；设置一第二基板；形成一第二接合金属层于该第二基板上；键结该第一接合金属层及该第二接合金属层；移除该第一基板；移除部分该外延层；移除部分的该第一接合金属层、该第二接合金属层与该导电氧化层；形成一绝缘层，以包覆该第二基板、该第一接合金属层、该第二接合金属层、该导电氧化层与该外延层；移除于该第二基板、该导电氧化层与该外延层上的部分该绝缘层，以暴露部分该第二基板的一表面、该导电氧化层的一表面与该外延层的一表面；形成一第一欧姆接触层于该第二基板的该表面上；形成一第二欧姆接触层于该外延层的该表面上；形成一第三欧姆接触层于该导电氧化层的该表面上；以及形成一导线，以连接该第一欧姆接触层及该第二欧姆接触层。