[发明专利]一种核壳结构Cu/Ag纳米合金的气相制备方法

摘要

本发明公开了一种核壳结构Cu/Ag纳米合金的气相制备方法，属于纳米材料技术领域，所述制备方法为双源气体聚集团簇生长在冷凝腔中通入惰性缓冲气体，保持恒定气压，在冷凝腔中通过磁控溅射Cu、Ag单质靶材或通过双坩埚同时热蒸发Cu、Ag粉末，产生稠密的Cu、Ag原子气，Cu、Ag原子在缓冲气体气氛中成核生长，形成Cu、Ag团簇并随缓冲气体向冷凝腔顶部的喷嘴流动，进一步生长形成核壳结构Cu/Ag纳米合金团簇；团簇束流沉积Cu/Ag团簇随缓冲气体从喷嘴喷出到高真空腔，完成生长并形成定向的团簇束流，沉积于衬底表面，制得Cu/Ag纳米合金。本发明属物理制备方法，操作简单，通用性强，过程控制好，不易出错，且制得的产品纯度高,表面清洁，单分散性好。

主权项

一种核壳结构Cu/Ag纳米合金的制备方法，其特征在于，所述制备方法采用双源气体聚集团簇生长系统，具体步骤如下：A.双源气体聚集团簇生长：在冷凝腔(2)中通入缓冲气体(3)，保持恒定气压，在冷凝腔(2)中通过磁控溅射Cu、Ag单质靶材，或通过双坩埚同时热蒸发Cu、Ag粉末，产生稠密的Cu、Ag原子气(5)；Cu、Ag原子在缓冲气体(3)气氛中成核生长，形成Cu、Ag团簇；Cu、Ag团簇随缓冲气体(3)向冷凝腔(4)顶部的喷嘴(6)流动并进一步生长，形成核壳结构Cu/Ag纳米合金团簇；B.团簇束流沉积：Cu/Ag团簇随缓冲气体(3)从喷嘴喷出到高真空腔(9)，完成生长，并形成定向的团簇束流(7)，沉积于衬底(8)表面，制得Cu/Ag纳米合金。