[发明专利]研磨装置、用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置和方法有效
| 申请号： | 201710096031.5 | 申请日： | 2017-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN107097145B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 丸山徹;松尾尚典;本岛靖之;江藤洋平;小松三教 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/10;B24B37/20;B24B37/30;B24B37/34;B24B55/03 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够将研磨垫的表面温度保持在所期望的目标温度的用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置和方法。一种用于对研磨垫(3)的表面温度进行调整的装置，其具备：垫接触构件(11)，其可与研磨垫(3)的表面接触，且在内部形成有加热流路(61)和冷却流路(62)；加热液供给管(32)，其连接到加热流路(61)；冷却液供给管(51)，其连接到冷却流路(62)；第一流量控制阀(42)，其安装于加热液供给管(32)；第二流量控制阀(56)，其安装于冷却液供给管(51)；垫温度测定器(39)，其对研磨垫(3)的表面温度进行测定；以及阀控制部(40)，其基于研磨垫(3)的表面温度对第一流量控制阀(42)和第二流量控制阀(56)进行操作。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 用于 表面温度 进行 调整 方法 | ||
【主权项】：
一种用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置，其特征在于，具备：垫接触构件，该垫接触构件能够与所述研磨垫的表面接触，且在内部形成有加热流路和冷却流路；加热液供给管，该加热液供给管连接于所述加热流路；冷却液供给管，该冷却液供给管连接于所述冷却流路；第一流量控制阀，该第一流量控制阀安装于所述加热液供给管；第二流量控制阀，该第二流量控制阀安装于所述冷却液供给管；垫温度测定器，该垫温度测定器对所述研磨垫的表面温度进行测定；以及阀控制部，该阀控制部基于所述研磨垫的表面温度，对所述第一流量控制阀和所述第二流量控制阀进行操作。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社荏原制作所，未经株式会社荏原制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710096031.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
