[发明专利]表面接枝导电聚合物和共面型电极压力传感器及其制法在审
| 申请号： | 201710099492.8 | 申请日： | 2017-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN108469316A | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 李立强;李红卫;吴昆杰;徐泽洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种表面接枝导电聚合物和共面型电极压力传感器及其制法。所述压力传感器包括：绝缘基底；共面型电极，包括彼此间隔分布在绝缘基底上的至少两个共面设置的电极，相邻两个电极的间距在纳米级到毫米级范围内可调；以及，设置在共面型电极上的导电压阻层，所述导电压阻层包括表面接枝导电聚合物薄膜和压阻层基底，并且表面接枝导电聚合物薄膜与共面型电极电性接触。所述制备方法包括：在绝缘基底上制作共面型电极，将表面接枝导电聚合物薄膜设置在共面型电极上电性接触。本发明的压力传感器结构简单，采用表面接枝导电聚合物压阻层与共面型电极对的结构，具有灵敏度高、精确度高、响应时间快等优点，且制备工艺简单，加工方便，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 面型 电极 表面接枝 基底 导电聚合物薄膜 导电聚合物 绝缘 电极压力 传感器 压阻 制法 阻层 压力传感器结构 压力传感器 电极电性 共面设置 加工方便 间隔分布 制备工艺 毫米级 灵敏度 纳米级 性接触 可调 上电 制备 响应 制作 | ||
【主权项】：
1.一种表面接枝导电聚合物和共面型电极压力传感器，其特征在于包括：绝缘基底；共面型电极，包括彼此间隔分布在所述绝缘基底上的至少两个电极，并且该至少两个电极共面设置；以及，设置在所述共面型电极上的导电压阻层，所述导电压阻层包括表面接枝导电聚合物薄膜和压阻层基底，所述导电压阻层的厚度在纳米级到微米级之间，并且所述表面接枝导电聚合物薄膜与共面型电极电性接触。
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