[发明专利]一种多晶硅太阳能电池用二氧化硅钝化层的制备工艺

摘要

本发明属于多晶硅太阳能电池技术领域，特别涉及一种多晶硅太阳能电池用二氧化硅钝化层的制备工艺。采用钝化反应促进液阿拉伯胶对硅片表面进行预处理，使硅片钝化程度更为均匀、更为可控，符合清洁、无污染操作工艺。

主权项

1.一种多晶硅太阳能电池用二氧化硅钝化层的制备工艺，其特征在于：所述的制备工艺为，（1）将钝化反应促进液均匀涂刷在扩散后的硅片表面，并低温烘干，所述的钝化反应促进液为阿拉伯胶以45～70g/L的质量浓度溶于去离子水所形成的溶液；（2）将经过步骤（1）处理的硅片置于高温环境下，并同时通入氮气和氧气的混合气体，所述的高温环境的温度为700～800℃；（3）完成步骤（2）的氧化后，停止通氧，在氮气气氛下将环境温度降至退火温度进行退火处理，冷却。