[发明专利]一种用于无主栅太阳能电池的探针测试装置在审
| 申请号： | 201710113247.8 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN106898565A | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 周艳方;陈泉阳;李令先;蒋秀林;尹海鹏;单伟 | 申请（专利权）人： | 晶澳（扬州）太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司44104 | 代理人： | 李海波,刘艳丽 |
| 地址： | 225131 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于无主栅太阳能电池的探针测试装置，包括探针排，所述探针排包括探针排架和若干可伸缩的探针组，每个可伸缩的探针组包括至少一根电流探针和一根电压探针，所述若干可伸缩的探针组的下方设有探针头或导电条。该测试装置采用Z型结构探针头以及分段式交叉重合设计或者采用弹性伸缩导电条，使得无主栅电池的测试变得更加便捷和精确，一方面减少了常规丝网压接技术带来的接触不良问题，同时也使得测试探针组的兼容性更强，即使电池栅线数量及间距变更也能适用，最重要的是这种设计可以与常规产线测试分选系统良好兼容，有利于新技术的产业化推广和生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 无主 太阳能电池 探针 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种用于无主栅太阳能电池的探针测试装置，其特征是：包括探针排，所述探针排包括探针排架和若干可伸缩的探针组，每个可伸缩的探针组包括至少一根电流探针和一根电压探针，所述若干可伸缩的探针组的下方设有探针头或导电条。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
