[发明专利]压电器件、MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置在审
| 申请号： | 201710113668.0 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN107150502A | 公开（公告）日： | 2017-09-12 |
| 发明（设计）人： | 木村里至;松本齐 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人： | 苏萌萌,范文萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在实施压电体层的保护的同时抑制了位移减少的压电器件、MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。所述压电器件依次层压有压电体层(70)、第一耐湿层(201)和第二耐湿层(202)，其中，所述第一耐湿层(201)与所述第二耐湿层(202)相比柔软性较高，所述第二耐湿层(202)为与所述第一耐湿层(201)相比透湿性较低的材料。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 器件 mems 液体 喷射 以及 装置 | ||
【主权项】：
一种压电器件，其特征在于，依次层压有压电体层、第一耐湿层和第二耐湿层，所述第一耐湿层与所述第二耐湿层相比柔软性较高，所述第二耐湿层为与所述第一耐湿层相比透湿性较低的材料。
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