[发明专利]膜厚检测装置及方法在审
| 申请号： | 201710115063.5 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN107063068A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 姜利;张凯;韩晓伟;丁青 | 申请（专利权）人： | 威海华菱光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 韩建伟,张永明 |
| 地址： | 264209 山东省威海*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种膜厚检测装置及方法。其中，该装置包括公共电极和检测电极，所述检测电极包括N个检测电极芯片，所述N个检测电极芯片在产品主扫描方向上依次排列，每个检测电极芯片上有M个检测电极素子，所述M个检测电极素子依次排列，各检测电极素子与所述公共电极在第一方向上相对且间隔设置，公共电极表面与各检测电极素子表面之间形成待测膜的检测通道，M，N为自然数，其中，所述装置还包括差分放大电路，其中一个输入端与参考素子输出端相连，另一个输入端与有效检测电极素子的输出端相连，输出端为膜厚检测装置的有效信号输出。通过本发明，解决了相关技术的膜厚检测方法受环境因素影响大的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种膜厚检测装置，其特征在于，包括：公共电极和检测电极，所述检测电极包括N个检测电极芯片，所述N个检测电极芯片在产品主扫描方向上依次排列，每个检测电极芯片上有M个检测电极素子，所述M个检测电极素子依次排列，各检测电极素子与所述公共电极在第一方向上相对且间隔设置，公共电极表面与各检测电极素子表面之间形成待测膜的检测通道，M，N为自然数，其中，所述装置还包括：差分放大电路，包括两个输入端和一个输出端，其中一个输入端与参考素子输出端相连，另一个输入端与有效检测电极素子的输出端相连，输出端为膜厚检测装置的有效信号输出，其中，所述参考素子为所述N个检测电极芯片所包括的一个或多个素子，所述N个检测电极芯片所包括的素子中除所述参考素子外的其它素子为有效检测电极素子。
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