[发明专利]体弹性波器件和体弹性波器件的制造方法在审
| 申请号： | 201710116128.8 | 申请日： | 2017-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN107154456A | 公开（公告）日： | 2017-09-12 |
| 发明（设计）人： | 阿畠润 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/335 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供体弹性波器件和体弹性波器件的制造方法，将制造时对环境的负荷抑制为较低。BAW器件(11)具有基板(13)以及形成在基板的正面(13a)上的压电元件(23)，在基板的背面侧设置有由凹部形成的弹性波扩散区域(31)，该凹部是将基板的背面局部熔融而形成的。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种体弹性波器件，其具有基板以及形成于该基板的正面上的压电元件，其特征在于，在该基板的背面侧设置有包含凹部的弹性波扩散区域，该凹部是将该基板的背面局部熔融而形成的。
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