[发明专利]一种金属掩膜板及其制备方法有效
| 申请号： | 201710123618.0 | 申请日： | 2017-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN108531862B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 高志豪 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆;胡彬 |
| 地址： | 201506 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属掩膜板及其制备方法。所述金属掩膜板包括显示区以及至少设置于所述显示区相对两侧的支撑区；所述显示区包括多个像素开孔以及网格状遮光部；所述支撑区的厚度大于所述网格状遮光部的厚度。本发明实施例提供的金属掩膜板包括显示区以及至少设置于所述显示区相对两侧的支撑区，所述显示区包括多个像素开孔以及网格状遮光部，所述支撑区的厚度大于所述网格状遮光部的厚度，使金属掩膜板支撑区的厚度相较于现有技术增厚，无需再采用张网技术来崩平金属掩膜板，在保证金属掩膜板制备精度的前提下，避免了金属掩膜板因张网技术使用的拉力导致的形变问题，降低了金属掩膜板在蒸镀机使用上的良率损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 掩膜板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金属掩膜板，其特征在于，包括显示区以及至少设置于所述显示区相对两侧的支撑区；所述显示区包括多个像素开孔以及网格状遮光部；所述支撑区的厚度大于所述网格状遮光部的厚度。
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