[发明专利]针对多状态以逐步方式调谐阻抗匹配网络的系统和方法有效
| 申请号： | 201710124191.6 | 申请日： | 2017-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN107294510B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 亚瑟·M·霍瓦尔德;约翰·C·小瓦尔考;安德鲁·方;大卫·霍普金 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H03H11/28 | 分类号： | H03H11/28;G06F30/373 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及针对多状态以逐步方式调谐阻抗匹配网络的系统和方法。描述了用于针对每个状态以逐步方式调谐阻抗匹配网络的系统和方法。通过针对每个状态以逐步方式调谐阻抗匹配网络，而不是直接获得用于每种状态的射频(RF)的最优值并直接获得用于每种状态的组合可变电容的最优值，使用经调谐的最优值处理晶片变得可行。 | ||
| 搜索关键词： | 针对 状态 逐步 方式 调谐 阻抗匹配 网络 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于以逐步方式调谐阻抗匹配网络的方法，其包括：在射频(RF)产生器的第一状态期间，当所述RF产生器在第一参数值下操作并且所述阻抗匹配网络具有第一可变可测量因子时，接收在所述RF产生器的输出端与所述阻抗匹配网络的输入端之间感测到的第一测得的输入参数值；针对所述第一状态，将一个或多个模型初始化为具有所述第一可变可测量因子和所述第一参数值，其中所述一个或多个模型包括所述阻抗匹配网络的模型；在所述一个或多个模型被初始化为具有所述第一可变可测量因子和所述第一参数值后，根据所述第一测得的输入参数值使用所述一个或多个模型，针对所述第一状态，来计算第一输出参数值；使用所述第一输出参数值和所述一个或多个模型来计算用于所述第一状态的最优可变可测量因子，所述最优可变可测量因子使得在所述一个或多个模型的输入端处的用于第一状态的反射系数和用于第二状态的反射系数的组合是最小的；使用所述第一输出参数值和所述一个或多个模型计算第一有利的参数值，所述第一有利的参数值使得在所述一个或多个模型的所述输入端处的用于所述第一状态的所述反射系数是最小的；在所述第一状态期间控制所述RF产生器以在所述第一有利的参数值下操作；以及在所述第一状态期间将所述阻抗匹配网络设置成具有第一步进可变可测量因子，其中所述第一步进可变可测量因子与所述第一可变可测量因子相比更接近所述最优可变可测量因子，使得所述阻抗匹配网络针对所述第一状态以逐步方式被调谐。
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