[发明专利]金属污染防止方法及金属污染防止装置、以及使用了它们的基板处理方法及基板处理装置在审
| 申请号： | 201710124843.6 | 申请日： | 2017-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN107151799A | 公开（公告）日： | 2017-09-12 |
| 发明（设计）人： | 小池悟;田中惠一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23G1/08 | 分类号： | C23G1/08;C23G3/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇,李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及金属污染防止方法及金属污染防止装置、以及使用了它们的基板处理方法及基板处理装置。一种金属污染防止方法，其为在使用表面被由氧化铬形成的钝化膜覆盖的金属部件之前进行的金属污染防止方法，该方法具备如下工序对覆盖前述金属部件的表面的前述钝化膜供给硝酸，使前述氧化铬与前述硝酸反应，而生成硝酸铬的工序；和，通过使该硝酸铬蒸发而自前述钝化膜去除铬的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 污染 防止 方法 装置 以及 使用 它们 处理 | ||
【主权项】：
一种金属污染防止方法，其是在使用表面被由氧化铬形成的钝化膜覆盖的金属部件之前进行的金属污染防止方法，该方法具备如下工序：对覆盖所述金属部件的表面的所述钝化膜供给硝酸，使所述氧化铬与所述硝酸反应，而生成硝酸铬的工序；和，通过使该硝酸铬蒸发而自所述钝化膜去除铬的工序。
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