[发明专利]一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜

摘要

本发明涉及原子力显微镜领域，一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜由湿度控制器连通原子力显微镜组成，所述湿度控制器主要包括气体入口、气体出口、管路三通、干气路流量调节器、湿气路流量调节器、超声喷雾器、气体混合室、温度及湿度感应器、隔离减震器及通气管路，所述原子力显微镜主要包括扫描腔、悬臂及针尖、控制电路、样品，所述湿气路流量调节器、干气路流量调节器与由计算机控制的马达连接且能够控制气体流速。本发明通过用超声喷雾器来产生水饱和气体，通入原子力显微镜扫描腔的气流更平稳，噪声小；气流的相对湿度和温度在气体混合室I和气体混合室II中分别测量，使得气体及样品表面的湿度及温度更容易控制且精度更高。

主权项

一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜，由湿度控制器连通原子力显微镜组成，所述湿度控制器主要包括气体入口I(1)、管路三通I(2)、干气路流量调节器(3)、湿气路流量调节器(4)、气体入口II(5)、气体出口II(6)、由防溅挡板(7)、超声单元(8)、冷却器(9)组成的超声喷雾器(10)、管路三通II(11)、气体混合室I(12)、气体混合室II(13)、气体出口I(14)、温度及湿度感应器I(15)、温度及湿度感应器II(16)、气体入口III(21)、气体出口III(22)、隔离减震器I(23)、隔离减震器II(24)及通气管路，所述原子力显微镜主要包括扫描腔(17)、悬臂及针尖(18)、控制电路(19)、样品(20)，其中悬臂及针尖(18)和样品(20)位于所述扫描腔(17)内、控制电路(19)位于所述扫描腔(17)外并通过电缆与悬臂及针尖(18)、样品(20)相连，其特征是：所述气体入口II(5)、湿气路流量调节器(4)、管路三通I(2)、干气路流量调节器(3)、管路三通II(11)、气体出口II(6)依次连通，所述气体入口I(1)连通管路三通I(2)，所述湿气路流量调节器(4)、干气路流量调节器(3)与由计算机控制的马达连接且能够控制气体流速，所述气体入口II(5)和气体出口II(6)均连通入所述超声喷雾器(10)内；所述管路三通II(11)、气体混合室I(12)、气体入口III(21)依次连通，且气体入口III(21)通过隔离减震器I(23)与所述扫描腔(17)连接，所述温度及湿度感应器I(15)连接于气体混合室I(12)；所述气体出口I(14)、气体混合室II(13)、气体出口III(22)依次连通，且气体出口III(22)通过隔离减震器II(24)与所述扫描腔(17)连接，所述温度及湿度感应器II(16)连接于气体混合室II(13)。