[发明专利]一种可阳极键合LTCC材料及其制备方法和应用

摘要

本发明涉及一种可阳极键合LTCC材料及其制备方法和应用，可阳极键合LTCC材料包含：70～50 wt%的β‑LiAlSi₂O₆微晶玻璃和30～50 wt%的β‑Al₂O₃陶瓷。本发明与现有的可阳极迁移LTCC材料相比实现半导化的温度低100℃，其键合温度有望降至200℃，键合电压有望降至500 V。

主权项

1.一种可阳极键合LTCC材料的制备方法，其特征在于，所述可阳极键合LTCC材料包含：70～50 wt%的β‑LiAlSi₂O₆微晶玻璃和30～50 wt %的β‑Al₂O₃陶瓷；所述制备方法包括：按β‑LiAlSi₂O₆微晶玻璃70～50wt%、β‑Al₂O₃陶瓷30～50wt%将β‑LiAlSi₂O₆微晶玻璃和β‑Al₂O₃陶瓷混合、成型、在低于900℃烧结，得到所述可阳极键合LTCC材料，其中所述β‑LiAlSi₂O₆微晶玻璃通过如下方法制备：将Li₂CO₃或Li₂O、Al₂O₃和SiO₂按化学计量比混合后于900～1100℃保温1～6小时，得到合成料；将合成料于900～1100℃保温1～6小时，然后淬冷，得到β‑LiAlSi₂O₆微晶玻璃。