[发明专利]一种扫描聚焦系统及电子束控制方法在审
| 申请号： | 201710128987.9 | 申请日： | 2017-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN106920723A | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 李帅;何伟;王鹏 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28;H01J37/21 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司11270 | 代理人： | 张颖玲,李梅香 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描聚焦系统，其特征在于，所述系统包括电子源、电子加速结构、聚焦结构、偏转结构、电子减速结构和高压控制结构；其中，所述电子源，用于产生电子束；所述电子加速结构，用于对所述电子源产生的电子束进行加速；所述聚焦结构，用于对加速后的电子束进行聚焦；所述偏转结构，用于对聚焦后的电子束进行偏转扫描；所述电子减速结构，用于产生一减速场，对经偏转扫描后的电子束进行减速；所述高压控制结构，用于控制所述电子源、所述电子加速结构和所述电子减速结构的电压。本发明还公开了一种电子束控制方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 聚焦 系统 电子束 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种扫描聚焦系统，其特征在于，所述系统包括：电子源、电子加速结构、聚焦结构、偏转结构、电子减速结构和高压控制结构；其中，所述电子源，用于产生电子束；所述电子加速结构，用于对所述电子源产生的电子束进行加速；所述聚焦结构，用于对加速后的电子束进行聚焦；所述偏转结构，用于对聚焦后的电子束进行偏转扫描；所述电子减速结构，用于产生一减速场，对经偏转扫描后的电子束进行减速；所述高压控制结构，用于控制所述电子源、所述电子加速结构和所述电子减速结构的电压。
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