[发明专利]一种微纳米台阶标准样板及其循迹方法在审
| 申请号： | 201710130912.4 | 申请日： | 2017-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN106931916A | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 曲金成;蔡潇雨;魏佳斯;李源;雷李华;赵军 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学;上海市计量测试技术研究院 |
| 主分类号： | G01B15/00 | 分类号： | G01B15/00;G01Q40/02 |
| 代理公司： | 上海浦东良风专利代理有限责任公司31113 | 代理人： | 龚英 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明为一种微纳米台阶标准样板及其循迹方法，其特征在于所述的微纳米台阶标准样板包括A工作区域及B循迹区域；所述的A工作区域内设有一个纳米级台阶、四个校准定位块及四个循迹参考定位块，通过所述B循迹区域内两对相互对称的等腰三角形形状的循迹标识符配合设置的设计单位标识符和样板型号标识符，确定微纳米台阶标准样板摆放方向与具体位置，通过所述A工作区域内的四个校准定位块在A工作区域内从纵向上快速校准定位，通过所述A工作区域内的四个循迹参考定位块在A工作区域内从横向上快速进行定位，并通过两两循迹参考定位块间的间隙确定测量的初始位置，完成整个校准过程，实现快速、高效的定位和校准，并具有很好的重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 台阶 标准 样板 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种微纳米台阶标准样板，其特征在于：所述的微纳米台阶标准样板包括A工作区域及B循迹区域；所述的A工作区域内设有一个纳米级台阶、四个校准定位块及四个循迹参考定位块，所述的纳米级台阶的上平面为一个长方形，设于A工作区域的中心位置，所述的四个校准定位块的上平面均为正方形，设于所述纳米级台阶的四个顶角外侧位置处，所述的四个循迹参考定位块的上平面形状均是由一个矩形、一个等边三角形和一个等腰直角三角形拼接而成的形状，并以纳米级台阶为中心，对称设于所述四个校准定位块的左右两侧，所述的B循迹区域以A工作区域为中心设有四个上平面为等腰三角形的循迹标识符。
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