[发明专利]一种胶体溶液制备及镀膜装置及镀膜方法有效
申请号: | 201710134066.3 | 申请日: | 2017-03-08 |
公开(公告)号: | CN106987828B | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
发明(设计)人: | 牛微;毕孝国;唐坚;董颖男 | 申请(专利权)人: | 沈阳工程学院 |
主分类号: | C23C18/12 | 分类号: | C23C18/12 |
代理公司: | 沈阳铭扬联创知识产权代理事务所(普通合伙) 21241 | 代理人: | 屈芳 |
地址: | 110136 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种胶体溶液制备及镀膜装置及镀膜方法,属于薄膜制备领域,包括:多组组分溶液存储容器;每组组分溶液存储容器连接的一级组分溶液滴定速度控制器;与每组组分溶液滴定速度控制器的出口连接的胶体溶液反应器;与所述胶体溶液反应器出口连接的中间级组分溶液滴定速度控制器;与中间级组分溶液滴定速度控制器连接的胶体溶液存储器;与所述胶体溶液存储器的出口连接的末级组分溶液滴定速度控制器;与所述末级组分溶液滴定速度控制器出口连接的导管;以及,导管将胶体导入到的浸渍镀膜装置进行镀膜。通过精确的控制胶体溶液配制和镀膜过程,保证化学组成、厚度、光学性质均匀一致性,满足纳米功能薄膜的制备要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 胶体溶液 制备 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种胶体溶液制备及镀膜装置,其特征在于,包括:多组组分溶液存储容器;每组组分溶液存储容器连接的一级组分溶液滴定速度控制器;与每组组分溶液滴定速度控制器的出口连接的胶体溶液反应器;与所述胶体溶液反应器出口连接的中间级组分溶液滴定速度控制器;与中间级组分溶液滴定速度控制器连接的胶体溶液存储器;与所述胶体溶液存储器的出口连接的末级组分溶液滴定速度控制器;与所述末级组分溶液滴定速度控制器出口连接的导管;以及,导管将胶体导入到的浸渍镀膜装置进行镀膜。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
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