[发明专利]一种胶体溶液制备及镀膜装置及镀膜方法有效

专利信息
申请号: 201710134066.3 申请日: 2017-03-08
公开(公告)号: CN106987828B 公开(公告)日: 2019-05-17
发明(设计)人: 牛微;毕孝国;唐坚;董颖男 申请(专利权)人: 沈阳工程学院
主分类号: C23C18/12 分类号: C23C18/12
代理公司: 沈阳铭扬联创知识产权代理事务所(普通合伙) 21241 代理人: 屈芳
地址: 110136 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明涉及一种胶体溶液制备及镀膜装置及镀膜方法,属于薄膜制备领域,包括:多组组分溶液存储容器;每组组分溶液存储容器连接的一级组分溶液滴定速度控制器;与每组组分溶液滴定速度控制器的出口连接的胶体溶液反应器;与所述胶体溶液反应器出口连接的中间级组分溶液滴定速度控制器;与中间级组分溶液滴定速度控制器连接的胶体溶液存储器;与所述胶体溶液存储器的出口连接的末级组分溶液滴定速度控制器;与所述末级组分溶液滴定速度控制器出口连接的导管;以及,导管将胶体导入到的浸渍镀膜装置进行镀膜。通过精确的控制胶体溶液配制和镀膜过程,保证化学组成、厚度、光学性质均匀一致性,满足纳米功能薄膜的制备要求。
搜索关键词: 一种 胶体溶液 制备 镀膜 装置 方法
【主权项】:
1.一种胶体溶液制备及镀膜装置,其特征在于,包括:多组组分溶液存储容器;每组组分溶液存储容器连接的一级组分溶液滴定速度控制器;与每组组分溶液滴定速度控制器的出口连接的胶体溶液反应器;与所述胶体溶液反应器出口连接的中间级组分溶液滴定速度控制器;与中间级组分溶液滴定速度控制器连接的胶体溶液存储器;与所述胶体溶液存储器的出口连接的末级组分溶液滴定速度控制器;与所述末级组分溶液滴定速度控制器出口连接的导管;以及,导管将胶体导入到的浸渍镀膜装置进行镀膜。
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