[发明专利]一种薄膜晶体管的电性特征测试方法及装置

摘要

本发明实施例公开了一种薄膜晶体管的电性特征测试方法及装置。该方案中，由于有源层中载流子迁移率不同，对微波信号的反射情况不同，而载流子迁移率反映了薄膜晶体管的电性特性，因而，本方案中，利用激光照射有源层，激发产生载流子后，通过获取有源层对微波信号的反射情况，就可以分析出薄膜晶体管的电性特征，与现有技术中完成源漏极的工艺后再进行测试相比，可以在形成有源层后就测试薄膜晶体管的电性特征，实现了提前预测薄膜晶体管的电性特征，及早发现异常，降低了废弃率。

主权项

一种薄膜晶体管的电性特征测试方法，其特征在于，包括：在形成待测试的薄膜晶体管的有源层之后，利用第一预设能量的激光激发所述有源层产生载流子，同时利用第二预设能量的微波信号照射产生载流子的所述有源层，并获取所述有源层对所述第二预设能量的微波信号的反射能量；根据预先采集的不同的有源层对所述第二预设能量的微波信号的反射能量与薄膜晶体管的电性特征值的对应关系，以及获取的所述有源层对所述第二预设能量的微波信号的反射能量，分析得到待测试的薄膜晶体管的电性特征值。