[发明专利]立式复合径流分子泵

摘要

一种立式复合径流分子泵，包括上端敞口的泵筒，泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，泵筒内设有径流抽气单元，径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，转子上固设有两平圆盘状的动轮，两动轮平行且间隔设置，静轮设于两动轮之间，静轮与两动轮平行设置，动密封位于下方的动轮的下方，静轮和动密封均固设于泵筒的侧壁上；位于上方的动轮的外侧设有一组涡轮叶列，涡轮叶列由上向下抽气；静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，静轮的中部未设置隔板。由于立式复合径流分子泵可以从泵筒的上方和侧壁同时抽气，且静轮的中部未设置隔板，因此，径流分子泵的抽速高出传统径流分子泵约80%，压缩能力提高约50%。

主权项

1.一种立式复合径流分子泵，包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上，所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽；其特征在于，位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮的中部未设置隔板。