[发明专利]一种硅单晶提拉炉在审
| 申请号： | 201710138801.8 | 申请日： | 2017-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN106757312A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 惠梦君;徐向众 | 申请（专利权）人： | 无锡市蓝德光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 张海英,林波 |
| 地址： | 214174 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅单晶提拉炉，其包括坩埚、加热器和旋转支撑组件，所述坩埚内设置有硅熔体，所述坩埚配套设置有用于对其加热的加热器，所述旋转支撑组件连接于所述坩埚上为坩埚提供支撑和旋转驱动，所述坩埚的旋转方向与所述硅单晶棒的旋转方向相反，其中，所述坩埚底部的中心处设置有冷点，所述冷点上设置有降温装置。上述硅单晶提拉炉于坩埚底部中心设置一个冷点，与硅熔体中心处的反向对流进行热交换，以给固液界面降温，从而加快结晶速度，增加晶棒拉速，使提拉炉等径平均拉速可以达到每分钟2毫米，工艺时间缩短一半，总生产周期缩短20％，总能耗降低20％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅单晶提拉炉 | ||
【主权项】：
一种硅单晶提拉炉，其包括坩埚、加热器、旋转支撑组件及保温隔热材料，所述坩埚内设置有硅熔体，所述坩埚配套设置有用于对其加热的加热器，所述旋转支撑组件连接于所述坩埚上为坩埚提供支撑和旋转驱动，其特征在于，所述坩埚底部的中心处设置有冷点，所述冷点上设置有降温装置。
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