[发明专利]一种固晶机的取料设备有效
申请号: | 201710141523.1 | 申请日: | 2017-03-10 |
公开(公告)号: | CN106941086B | 公开(公告)日: | 2023-10-17 |
发明(设计)人: | 邱国良 | 申请(专利权)人: | 东莞市凯格精机股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张春水;唐京桥 |
地址: | 523000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种固晶机的取料设备,包括取料装置和气体流量监测装置,所述取料装置包括电磁阀组和吸嘴,所述气体流量监测装置包括流量传感器、流量检测电路和上位机,所述上位机用于预先设定所述吸嘴对应的比较电压,所述流量检测电路用于判断所述吸嘴是否正常工作,并反馈至所述上位机。通过下位机可进行电压采样,根据采样的工作电压,以及通过上位机发送给下位机的比较电压进行比较,进而判断吸嘴状态,当吸嘴老化后但仍可被使用时,可更改其比较电压的值,相当于提升了吸嘴的使用寿命,此外,吸嘴的比较结果可实时被上位机得知,有利于设备管控,实现了高效,智能的判断吸嘴状态。 | ||
搜索关键词: | 一种 固晶机 设备 | ||
【主权项】:
一种固晶机的取料设备,其特征在于,包括取料装置和气体流量监测装置;所述取料装置包括电磁阀组和吸嘴;所述电磁阀组包括一用于连接所述吸嘴的吸嘴连接口和一用于连接负压源的负压源连接口,所述负压源连接口内设置有用于控制所述吸嘴是否连通所述负压源的第一气路阀门;所述气体流量监测装置包括流量传感器、流量检测电路和上位机;所述流量传感器的两气路连接端分别连接所述负压源和所述负压源连接口,所述流量传感器的工作电压输出端电连接所述流量检测电路,用于根据流经所述流量传感器的气体的流量对应输出一工作电压;所述上位机用于预先设定所述吸嘴对应的比较电压;所述流量检测电路电连接所述上位机,用于从所述上位机获取所述吸嘴对应的比较电压,还用于实时将所述对应输出的工作电压和所述吸嘴对应的比较电压进行比较,以判断所述吸嘴是否正常工作,并反馈至所述上位机。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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