[发明专利]芯片封装结构的制作方法与基板结构有效

专利信息
申请号: 201710146934.X 申请日: 2017-03-13
公开(公告)号: CN108615686B 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 李婷婷;陈宪章;黄东鸿 申请(专利权)人: 南茂科技股份有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L23/12
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 马雯雯;臧建明
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 台湾;71
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种芯片封装结构的制作方法与基板结构,其中制作方法包括以下步骤。首先,提供载板,且载板包括基材与连接基材的离型膜。接着,形成叠层结构层于离型膜上,并图案化叠层结构,以形成贯穿至少部分叠层结构的预断沟槽,其中预断沟槽位于叠层结构的边缘,且将叠层结构划分为芯片设置部与预断部。接着,设置芯片于芯片设置部上。接着,形成封装胶体于芯片设置部上,并包覆芯片。之后,沿预断沟槽断开预断部与芯片设置部,并通过预断部移除离型膜与基材。本发明不仅能提高制程上的便利性,也能避免于移除载板时对芯片封装结构造成损伤以提高制程上的良率。
搜索关键词: 芯片 封装 结构 制作方法 板结
【主权项】:
1.一种芯片封装结构的制作方法,其特征在于,包括:提供载板,且所述载板包括基材与连接所述基材的离型膜;形成叠层结构层于所述离型膜上,并图案化所述叠层结构,以形成贯穿至少部分所述叠层结构的预断沟槽,其中所述预断沟槽位于所述叠层结构的边缘,且将所述叠层结构划分为芯片设置部与预断部;设置芯片于所述芯片设置部上;形成封装胶体于所述芯片设置部上,并包覆所述芯片;以及沿所述预断沟槽断开所述预断部与所述芯片设置部,并通过所述预断部移除所述离型膜与所述基材。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南茂科技股份有限公司,未经南茂科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710146934.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top