[发明专利]减压干燥方法及减压干燥装置在审
| 申请号： | 201710148962.5 | 申请日： | 2017-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN107185783A | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 芳川典生;时枝大佐 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02;C08J5/18;C08L79/08 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 杨贝贝,臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市上京区堀*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于缩短对涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜进行减压干燥所需的时间。本发明提供一种减压干燥方法及减压干燥装置。本发明包括将涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜以第一温度进行减压干燥的工序，以及将经过了所述工序的所述基板上的所述涂布膜以比所述第一温度高的第二温度进行减压干燥的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 干燥 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种减压干燥方法，其特征在于包括：(a)工序，将涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜以第一温度进行减压干燥；以及(b)工序，将经过了所述工序(a)的所述基板上的所述涂布膜以比所述第一温度高的第二温度进行减压干燥。
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