[发明专利]一种深孔镀膜装置有效

专利信息
申请号: 201710150317.7 申请日: 2017-03-14
公开(公告)号: CN106835090B 公开(公告)日: 2018-12-28
发明(设计)人: 袁明清;束学遂 申请(专利权)人: 北京中纺精业机电设备有限公司
主分类号: C23C22/00 分类号: C23C22/00
代理公司: 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 代理人: 王明霞
地址: 101100 北京市通州*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种深孔镀膜装置,包括本体,所述本体内具有进液腔和回液腔,所述进液腔设有向其内部添加液体的注液管,所述回液腔设有将其内部液体导出的回液管;一端与进液腔连接,用于将进液腔内的液体注入到深孔内的细长管;所述回液腔的底部还设有与所述深孔相连通的回液口,以回收注入深孔内的液体。本发明在使用时,可以保证化学镀膜全过程是完全密封的,没有化学液的渗漏,既能保持化学液的配比浓度,提高利用率,又能循环使用,降低损耗,节省成本。
搜索关键词: 一种 镀膜 装置
【主权项】:
1.一种深孔镀膜装置,其特征在于:包括本体(1),所述本体(1)内具有进液腔(2)和回液腔(3),且进液腔(2)位于回液腔(3)的上方,所述进液腔(2)设有向其内部添加液体的注液管(6),所述回液腔(3)设有将其内部液体导出的回液管(7);一端与进液腔(2)连接,用于将进液腔(2)内的液体注入到深孔内的细长管(4);所述回液腔(3)的底部还设有与所述深孔相连通的回液口(31),以回收注入深孔内的液体。
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