[发明专利]一种化学机械抛光设备

摘要

本发明涉及晶片加工领域，尤其涉及一种化学机械抛光设备，针对现有技术中抛光液质量不达标的问题，现提出如下方案，一种化学机械抛光设备，包括用于配制抛光液的配料桶以及用于对晶片进行抛光的抛光器，抛光器通过输送管与配料桶连接，配料桶完成对抛光液的配制后，由输送管将抛光液输送至抛光器，进而对晶片进行抛光。料桶下端设置有排料口，排料口处设置有阀门，排料口通过输送管与抛光器连接，抛光器包括抛光盘、固定于抛光盘上方的抛光液输送口、位于抛光盘上方的抛光头、以及安装于抛光头下表面的具有曲线轮廓的抛光垫，待抛光的晶片安置在抛光盘上，并随抛光盘旋转，抛光液输出口直接向晶片输送抛光液。

主权项

一种化学机械抛光设备，包括配料桶(1)和抛光器(10)，所述抛光器(10)通过输送管(8)与配料桶(1)连接，输送管(8)将配料桶(1)内的抛光液输送至抛光器(10)，其特征在于，所述配料桶(1)内设有搅拌装置，搅拌装置包括搅拌轴(11)和固定在搅拌轴(11)上的搅拌叶片(13)，所述搅拌叶片(13)数量为三组，三组搅拌叶片(13)沿搅拌轴(11)的轴向依次固定，其所处的平面都与水平面之间呈一定的夹角，而且上下相邻的两个搅拌叶片(13)之间在其选装平面内错位布置；所述配料桶(1)内还固定有一个竖直状态的中心筒(14)，中心筒(14)的下端固定在配料桶(1)的下表面上，同时所有的搅拌叶片(13)均位于中心筒(14)内；所述中心筒(14)的上端开口，下端的侧面上也开有开口，即中心筒(14)内部的物料与外部的物料是相通的；所述搅拌轴(11)与设于桶盖(2)顶部的电机(4)传动连接；所述料桶(1)下端设置有排料口，排料口上设有阀门(9)，排料口通过输送管(8)与抛光器(10)连接，所述抛光器(10)包括抛光盘(17)、固定于抛光盘(17)上方的抛光液输送口(19)、位于抛光盘(17)上方的抛光头(16)、以及安装于抛光头(16)下表面的具有曲线轮廓的抛光垫(18)，待抛光的晶片(20)安置在抛光盘(17)上，并随抛光盘(17)旋转，抛光液输出口直接向晶片(20)输送抛光液。