[发明专利]一种真空紫外波段像增强器光谱响应测试系统

摘要

本发明公开了一种真空紫外波段像增强器光谱响应测试系统，该系统包括氘灯、能量优化器、单色仪、准直器、真空室、抽气系统、测试样品真空腔及其样品夹具、机械泵、分子泵、直流—交流电流计、高压电源、斩波器、锁相放大器、真空度测试仪、工控计算机。该系统使用氘灯作为光源，使用单色仪得到单色光，使用已定标的硅光电池测试得到单色光光功率，使用电流计直接测量直流光电流得到测试数据。本发明使用斩波器得到交流光信号，通过像增强器交流的光信号变成交流的电信号，经过交流放大电流和锁相放大器得到测试数据。本发明可以对真空紫外波段像增强器的光谱响应进行定量测试。

主权项

一种真空紫外波段像增强器光谱响应测试系统，其特征在于，包括顺次连接的氘灯[1]、能量优化器[2]、滤波片轮[3]、真空紫外单色仪[4]、准直器[5]、斩波器[6]和样品室[7]；氘灯[1]发出全光谱的光线依次通过能量优化器[2]、滤波片轮[3]、真空紫外单色仪[4]、准直器[5]、斩波器[6]后到达样品室[7]，其中能量优化器[2]对入射光线光进行光学优化，滤波片轮[3]对入射光线进行滤波以保证光路中没有杂散光,真空紫外单色仪[4]对入射光线进行处理得到单色光，准直器[5]对入射光进行准直处理，斩波器[6]将入射光变成固定频率的交流光信号，样品室[7]内设置像增强器及其夹具；斩波器[6]工作时为交流测试模式，斩波器[6]发出的光线为交流光信号，对样品进行测量的器件包括依次连接的交流放大电路、锁相放大器、工控机；斩波器[6]不工作时为直流测试模式，斩波器[6]发出的光线为直流光信号，对样品进行测量的器件为依次连接的直流电流计和工控机。