[发明专利]薄膜应变式扭矩传感器在审
| 申请号： | 201710151983.2 | 申请日： | 2017-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN106768538A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 雷卫武;曾朋辉 | 申请（专利权）人： | 北京中航兴盛测控技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L3/22 | 分类号： | G01L3/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102101 北京市延庆区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜应变式扭矩传感器，包括转接上法兰，转接下法兰，固接在所述转接上下法兰之间的扭柱组成，其特征在于所述扭柱是左右侧面分别加工有弧形凹槽、上下部分别加工有三角孔、一侧平面上采用溅射薄膜技术制造有包含四个应变敏感电阻的四个薄膜敏感元件的金属柱。将所述四个应变敏感电阻组成惠斯通电桥电路，当所述转接上下法兰扭动时，惠斯通电桥电路失出平衡，通过测量所述惠斯通电桥电路的输出信号可得到相应的扭矩值大小。由于采用了溅射薄膜技术，将应变敏感元件直接制作在弹性轴上，传感器的迟滞误差、重复性误差、温度漂移误差大大减小，传感器测量精度得到提高。传感器结构简单、加工容易。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 应变 扭矩 传感器 | ||
【主权项】：
一种薄膜应变式扭矩传感器，包括转接上法兰(1)，转接下法兰(2)，固接在所述转接上法兰(1)与转接下法兰(2)之间的扭柱(3)组成，其特征在于：所述扭柱(3)是左右侧面分别加工有弧形凹槽(31)、上下部分别加工有三角孔(32)、一侧平面上采用溅射薄膜技术制造有包含四个应变敏感电阻(42)的四个薄膜敏感元件(4)的金属柱；将所述四个应变敏感电阻(42)组成惠斯通电桥电路，当所述转接上法兰(1)与转接下法兰(2)扭动时，所述扭柱(3)受到扭力作用并传递到所述应变敏感电阻(42)，所述应变敏感电阻(42)阻值发生变化，惠斯通电桥电路失出平衡，通过测量所述惠斯通电桥电路的输出信号可得到相应的扭矩值大小。
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