[发明专利]电磁感应加热外延炉的双面基座结构有效
| 申请号： | 201710153550.0 | 申请日： | 2017-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN106948002B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 施国政;金龙 | 申请（专利权）人： | 南京国盛电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张婧 |
| 地址： | 211100 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种电磁感应加热外延炉的双面基座结构，包括表面涂覆有碳化硅涂层的石墨基座，该石墨基座的上表面具有若干个绕轴心均布的片坑，在所述石墨基座的下表面具有与每一片坑相对应的凸台。该双面基座结构可以满足常温装片，在高纯气氛条件下，外延生长温度1100℃的生产条件，提高了石墨基座温度的一致性，有效避免因为温度不一致引起的电阻率均匀性参数不一致，同时保持了衬底表面的气流一致性，提升外延主要参数一致性性能，并能改善同批次一炉内外延片左右侧的滑移线和裂片问题，提高了产品品质。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁感应 加热 外延 双面 基座 结构 | ||
【主权项】：
1.一种电磁感应加热外延炉的双面基座结构，其特征在于：包括表面涂覆有碳化硅涂层(1)的石墨基座(2)，该石墨基座(2)的上表面具有若干个绕轴心均布的片坑(3)，在所述石墨基座(2)的下表面具有与每一片坑(3)相对应的凸台(4)，每一凸台(4)的底面为平面，凸台(4)外周面与石墨基座(2)下表面形成垂直台阶。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京国盛电子有限公司，未经南京国盛电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710153550.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种通过顶杆辅助脱模的改进型模具设备
- 下一篇：一种多功能文件盒
