[发明专利]一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法有效

专利信息
申请号: 201710154030.1 申请日: 2017-03-15
公开(公告)号: CN106876580B 公开(公告)日: 2019-02-26
发明(设计)人: 蔡端俊;孙飞鹏;马吉 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: H01L41/37 分类号: H01L41/37;H01L41/47;H02N2/18
代理公司: 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 代理人: 马应森
地址: 361005 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法,涉及纳米发电机。提供灵活性强,可操作性简单,容易集成耐磨材料,可用于衣服和鞋子,成功将身体的日常运动的机械能转化为电能,为智能服饰的开发和应用提供前提条件的一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法。在金属衬底直接生长整齐的氧化锌纳米柱阵列,得ZnO/h‑BN/金属复合结构;在ZnO/h‑BN/金属复合结构上旋涂PDMS透明硅胶填充纳米柱阵列,得弹性的氧化锌纳米柱阵列薄膜;去除金属衬底,获得埋藏氧化锌纳米柱阵列的透明PDMS薄膜结构;在PDMS/ZnO薄膜结构连帽压印上金属纳米线网络,退火得纳米焊接网络,做透明电极;连接上下电极至载体,即完发电机的制备。
搜索关键词: 一种 透明 柔性 压电 纳米 发电机 制备 方法
【主权项】:
1.一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法,其特征在于包括以下步骤:1)在金属衬底直接生长整齐的氧化锌纳米柱阵列,获得ZnO/h‑BN/金属复合结构;所述在金属衬底直接生长整齐的氧化锌纳米柱阵列的具体方法为:将六方氮化硼二维薄膜转移覆盖至金属衬底表面,作为预导向和预成核层,利用氧化锌纳米柱生长方法直接生长纳米柱阵列于金属衬底上;2)在ZnO/h‑BN/金属复合结构上旋涂PDMS透明硅胶填充纳米柱阵列,获得弹性的氧化锌纳米柱阵列薄膜;3)去除金属衬底,获得埋藏氧化锌纳米柱阵列的透明PDMS薄膜结构;4)在PDMS/ZnO/h‑BN结构的正反两面压印上金属纳米线网络,低温退火获得纳米焊接网络,做透明电极;5)连接上下两个电极至载体,即完成透明柔性的压电式纳米发电机的制备。
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