[发明专利]一种TFT用铜刻蚀液废液的安全储存方法

摘要

本发明公开了一种TFT用铜刻蚀液废液的安全储存方法，当面板厂Cu刻蚀液废液排放至储液池时，系统启动，将储液池中废液、后储罐中稀释液注入分解罐、稀释后废液通过分解罐分解层分解，产生气体经引风机排入面板厂废气管道；分解后废液经H2O2在线监测，当H2O2监测值低于设计要求时，废液排入冷凝装置进行热交换；当H2O2监测值高于设计要求时，废液重新进入分解罐分解；废液完成热交换后，在线监测温度当温度低于设计要求时，废液排入后储罐；同时根据情况，适当提升废液处置量，当温度高于设计要求时，减少废液进液量；后储罐中废液达到溢液口，废液排出。

主权项

一种TFT用铜刻蚀液废液的安全储存方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)、当面板厂Cu刻蚀液废液排放至储液池时，废液实时处置系统启动；（2）、系统启动后，将储液池中废液、后储罐中稀释液注入分解罐；（3）、稀释后废液通过分解罐分解层分解，产生气体经引风机排入面板厂废气管道；分解后废液经H2O2在线监测，当H2O2监测值低于设计要求时，废液排入冷凝装置进行热交换；当H2O2监测值高于设计要求时，废液重新进入分解罐分解；（4）、废液完成热交换后，在线监测温度：当温度低于设计要求时，废液排入后储罐；同时根据要求，适当提升废液处置量，当温度高于设计要求时，减少废液进液量；（5）、后储罐中废液达到溢液口，废液排出,进入储罐储存即可。