[发明专利]一种金膜覆盖的高密度纳米针尖阵列及其应用有效
| 申请号： | 201710157627.1 | 申请日： | 2017-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN107101988B | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 赵倩;刘广强;蔡伟平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;李闯 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种金膜覆盖的高密度纳米针尖阵列及其应用，该金膜覆盖的高密度纳米针尖阵列的制备方法包括：制备玻璃基底单层聚苯乙烯胶体晶体阵列；采用反应离子刻蚀法对所述玻璃基底单层聚苯乙烯胶体晶体阵列进行刻蚀，再去除玻璃基底上的单层聚苯乙烯胶体晶体阵列，从而制得高密度纳米针尖阵列；以所述的高密度纳米针尖阵列为模板，采用物理沉积方法在所述模板的表面沉积一层厚度为10～50nm的金膜，从而制得金膜覆盖的高密度纳米针尖阵列。该金膜覆盖的高密度纳米针尖阵列可直接作为表面增强拉曼效应的衬底材料。本发明不仅构造面积大、均一性好、表面洁净、检测灵敏度高，而且制备方法简单、操作方便、成本低廉、经济环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 覆盖 高密度 纳米 针尖 阵列 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种金膜覆盖的高密度纳米针尖阵列，其特征在于，其制备方法包括以下步骤：步骤A、在玻璃基底上制备紧密排列的单层聚苯乙烯胶体晶体阵列，从而得到玻璃基底单层聚苯乙烯胶体晶体阵列；步骤B、采用反应离子刻蚀法对所述的玻璃基底单层聚苯乙烯胶体晶体阵列进行刻蚀，再去除玻璃基底上的单层聚苯乙烯胶体晶体阵列，从而制得高密度纳米针尖阵列；步骤C、以所述的高密度纳米针尖阵列为模板，采用物理沉积方法在所述模板的表面沉积一层厚度为10～50nm的金膜，从而制得金膜覆盖的高密度纳米针尖阵列。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院合肥物质科学研究院，未经中国科学院合肥物质科学研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710157627.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
