[发明专利]准分子激光发生器和准分子激光退火设备

摘要

本发明公开了一种准分子激光发生器和准分子激光退火设备，用以提高反应窗更换的方便性，提高更换效率，减少气体的浪费。准分子激光发生器包括依次排列的反射镜、激活介质腔和出射镜，激活介质腔具有朝向反射镜的第一开口和朝向出射镜的第二开口，还包括两个更换单元，分别位于第一开口和反射镜之间以及第二开口和出射镜之间，每个更换单元包括更换板和驱动元件，更换板上设有多个反应窗，驱动元件用于驱动更换板上的任一反应窗密封对应的开口；分别位于第一开口和第二开口处的压力平衡单元，压力平衡单元用于调节对应的开口处密封的反应窗的第一面和第二面所受的压力，第一面为反应窗朝向对应开口的一面，第二面为反应窗背离对应开口的一面。

主权项

一种准分子激光发生器，包括：依次排列的反射镜、激活介质腔和出射镜，所述激活介质腔具有朝向所述反射镜的第一开口和朝向所述出射镜的第二开口，其特征在于，还包括：两个更换单元，分别位于所述第一开口和所述反射镜之间以及所述第二开口和所述出射镜之间，每个所述更换单元包括：更换板和驱动元件，所述更换板上设有多个反应窗，所述驱动元件用于驱动更换板上的任一所述反应窗密封对应的开口；分别位于所述第一开口和所述第二开口处的压力平衡单元，所述压力平衡单元用于调节对应的开口处密封的所述反应窗的第一面和第二面所受的压力，其中所述第一面为所述反应窗朝向对应开口的一面，所述第二面为所述反应窗背离对应开口的一面。