[发明专利]一种分离设备及分离方法有效

专利信息
申请号: 201710161024.9 申请日: 2017-03-17
公开(公告)号: CN106887533B 公开(公告)日: 2019-03-12
发明(设计)人: 王伟;孙中元;倪静凯;罗程远 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 刘伟;胡影
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种分离设备及分离方法,该分离设备用于待分离器件的分离,所述待分离器件包括刚性承载基板、设置在所述刚性承载基板上的柔性器件以及覆盖于所述柔性器件上的保护膜,所述保护膜的未覆盖所述柔性器件的四个边缘与所述刚性承载基板贴合,该分离设备包括:基台,用于放置所述待分离器件;气刀;气刀控制部件,用于控制所述气刀向所述保护膜的至少一个边缘与所述刚性承载基板的贴合面的交界处吹气,以使得所述保护膜与所述刚性承载基板分离。采用本发明的分离设备进行刚性承载基板和柔性器件分离时,能够减少分离时间,且不会对刚性承载基板和柔性器件造成损伤。
搜索关键词: 一种 分离 设备 方法
【主权项】:
1.一种分离设备,用于待分离器件的分离,所述待分离器件包括刚性承载基板、设置在所述刚性承载基板上的柔性器件以及覆盖于所述柔性器件上的保护膜,所述保护膜的未覆盖所述柔性器件的四个边缘与所述刚性承载基板贴合,其特征在于,包括:基台,用于放置所述待分离器件;气刀;气刀控制部件,用于控制所述气刀向所述保护膜的至少一个边缘与所述刚性承载基板的贴合面的交界处吹气,以使得所述保护膜的至少一个边缘与所述刚性承载基板分离;所述待分离器件放置到所述基台上时,所述保护膜面向所述基台;所述分离设备还包括:固定部件,设置在所述基台的至少一个侧边区域上,用于固定从所述刚性承载基板上分离的所述保护膜的边缘。
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