[发明专利]光刻系统、在光刻系统内转移基板的装置及方法有效
| 申请号： | 201710164699.9 | 申请日： | 2012-05-01 |
| 公开（公告）号： | CN106919006B | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | V.S.凯珀;E.斯洛特;M.N.J.范科温克;G.德博尔;H.J.德琼 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种用于在光刻系统内转移基板的装置，光刻系统包括与基板供应系统的接口和基板预备单元，与所述基板供应系统的接口用于接收未受夹箝的基板，所述基板预备单元用于将未受夹箝的基板夹箝至基板支承结构上；其中所述装置包括主体，所述主体设置有第一组指部和第二组指部，所述第一组指部用于运载未受夹箝的基板，所述第二组指部用于运载基板支承结构，基板被夹箝在所述基板支承结构上；其中所述第一组指部具有与所述第二组指部中的指部不同的形状，并且在所述第一组指部和所述第二组指部之间高度的差异超过所述基板支承结构的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 系统 转移 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于在光刻系统内转移基板的装置，所述光刻系统包括与基板供应系统的接口和基板预备单元，与所述基板供应系统的接口用于接收未受夹箝的基板，所述基板预备单元用于将未受夹箝的基板夹箝至基板支承结构上；其中所述装置包括主体，所述主体设置有第一组指部和第二组指部，所述第一组指部用于运载未受夹箝的基板，所述第二组指部用于运载基板支承结构，基板被夹箝在所述基板支承结构上；其中所述第一组指部具有与所述第二组指部中的指部不同的形状，并且在所述第一组指部和所述第二组指部之间高度的差异超过所述基板支承结构的厚度。
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