[发明专利]一种面向半导体工艺设备的故障诊断方法在审
| 申请号： | 201710166248.9 | 申请日： | 2017-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN106919982A | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 于淼;廖柯;段彬;里鹏;胡国良 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G06N5/04 | 分类号： | G06N5/04 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司21002 | 代理人： | 李巨智 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种面向半导体工艺设备的故障诊断方法，首先建立包括模糊规则库、推理机的专家系统；进一步的，针对半导体工艺设备实时监测参数进行模糊化处理，生成模糊事实；推理机基于模糊事实，通过与模糊规则库的交互来进行模糊推理，生成故障诊断结果；基于故障诊断结果的实际应用情况，进行面向模糊规则库的规则强度自学习修正。本发明基于rete算法进行模糊推理进而得出故障诊断结果，并充分结合实际故障诊断应用情况来进行模糊规则库的规则强度自学习修正，提高了半导体工艺设备故障诊断的精准水平和自动化水平，保障了半导体工艺的高效稳定运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 面向 半导体 工艺设备 故障诊断 方法 | ||
【主权项】：
一种面向半导体工艺设备的故障诊断方法，其特征在于，包括模糊规则库和推理机，工作流程如下：1)针对半导体工艺设备实时监测参数进行模糊化处理，生成模糊事实；2)建立模糊规则库；3)采用rete算法将模糊事实与模糊规则库中的规则进行匹配，得到模糊推理结果；4)将模糊推理结果进行去模糊化得出故障诊断结果；5)根据故障诊断结果和实际反馈结果构建样本集，基于样本集进行规则强度自学习修正。
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