[发明专利]一种微分混合式化学气相沉积装置

摘要

本发明公开了一种微分混合式化学气相沉积装置，由箱体、流道板、绝缘密封垫片、反应室、支柱、基座、加热系统和射频系统组成。流道板有两个气体入口，可分别进入两种不同的反应气体，两种气体分别在流道板的流场中经过微分分流作用后，均匀分布在流场空间内，并且分流后的两种气体可以进行分别混合，混合后经喷头喷出。本发明微分混合式流道能够提高气体混合的均匀性和气体分布的均匀性，使化学气相沉积薄膜更均匀，省去了气体混合装置，简化设备；采用电磁感应加热方式，加热速率快，并且提高了电能的利用率，降低成本；此外，本发明化学气相沉积装置对于已经混合好的反应气体，可以关闭一个入口，由一个入口进入，同样可以提高气体分布均匀性。

主权项

一种微分混合式化学气相沉积装置，其特征在于：由箱体、流道板、绝缘密封垫片、反应室、支柱、基座、加热系统和射频系统组成；所述反应室为进行化学气相沉积的反应空间；流道板设置在反应室上方，流道板内流道由A入口、B入口、A主流道、B主流道、A分流道、B分流道、A支流道、B支流道、汇集流道、混合流道和喷头组成；射频系统的电极安装在流道板上方；箱体位于流道板下方，其与流道板所包围空间即为所述反应空间，箱体的底面设置有均匀排布的多个抽气孔，抽气孔与抽气管相连通，并连通到抽气装置；绝缘密封垫片上表面和下表面分别与流道板和箱体接触，绝缘密封垫片、流道板与箱体固定；基座位于反应室内，由立柱支撑；基座上方放置基板，基板可用于沉积薄膜或放置待沉积品。