[发明专利]一种多芯片整合封装方法有效
申请号: | 201710168631.8 | 申请日: | 2017-03-21 |
公开(公告)号: | CN107424937B | 公开(公告)日: | 2019-09-24 |
发明(设计)人: | 彭勇;李宏图;谢兵;赵从寿;张友位;王明辉 | 申请(专利权)人: | 池州华宇电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268 | 代理人: | 金香云 |
地址: | 247099 安徽省池州*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种多芯片整合封装方法,该方法包括:芯片布置、装片固化、布线、塑封、电镀、切筋成型、包装共计7个工艺步骤,该方法能将不同功能芯片进行组合并封装于单颗芯片内,短时间最大效果满足不同市场客户需求,缩减了设计环节,增加了单颗芯片集成化能力,且缩短生产周期,降低设计成本费用。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 整合 封装 方法 | ||
【主权项】:
1.一种多芯片整合封装方法,其特征在于该方法包括以下步骤:1)芯片布置:根据多块功能芯片按功能及尺寸,确定芯片布置方式,所述的芯片布置方式为水平方向水平布置、竖直方向堆叠布置中的一种或多种组合;2)装片固化:根据步骤1)选定的芯片布置方式,将各功能芯片依次进行装片,直到所有功能芯片装完后送入烘箱内进行烘烤固化,所述烘箱烘干温度为173℃‑175℃,烘干时间为2.5h;3)布线:将步骤2)装片固化后的功能芯片放置于键合加热平台上端,对功能芯片进行自动植球,植球后使用劈刀进行反向切球,将所植的点焊球顶面做出一个反向切面平台,使用键合丝将该反向切面平台依次互联,将各功能芯片导通,当连接两反向切面平台的键合丝长度大于2000微米而小于3000微米时,在键合丝的中心处设置多折点结构;当连接两反向切面平台的键合丝长度大于3000微米而小于6000微米时,在键合丝的1/3处、2/3处设置多折点结构,用于避免漂移及塌线,所述的键合丝材质为纯铜,直径为20‑25微米;4)塑封:将步骤3)完成布线的功能芯片放置于模具内,使用塑封料进行塑封制得半成品,并在180℃‑182℃条件下保持90s,以消除半成品内部应力;5)电镀:将步骤4)制得的半成品引脚进行电镀纯锡;6)切筋成型:使用剪切机将经步骤5)电镀后的半成品按规定尺寸切开制得成品;7)包装:使用自动测试机对步骤6)制得的成品进行电性检测后进行自动包装即可。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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