[发明专利]碱性蚀刻液组合物及应用其的蚀刻方法有效
| 申请号： | 201710169411.7 | 申请日： | 2017-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN107227462B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 陈雨农;吴光耀;汤慧怡 | 申请（专利权）人： | 达兴材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/34 | 分类号： | C23F1/34 |
| 代理公司： | 北京坤瑞律师事务所 11494 | 代理人： | 封新琴 |
| 地址： | 中国台湾台中市中*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种碱性蚀刻液组合物，用以蚀刻含铜金属层。前述碱性蚀刻液组合物包含氧化剂、螯合剂与有机胺化合物，且前述有机胺化合物为至少包含碳原子与氮原子的化合物。藉此，本发明所提供的碱性蚀刻液组合物具有优异的图案化能力，可达到良好的蚀刻效果。 | ||
| 搜索关键词： | 碱性 蚀刻 组合 应用 方法 | ||
【主权项】：
一种碱性蚀刻液组合物，用以蚀刻含铜金属层，该碱性蚀刻液组合物包含：氧化剂；螯合剂；以及有机胺化合物，至少包含碳原子与氮原子。
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