[发明专利]一种平面内多晶织构的测量方法有效
| 申请号： | 201710170444.3 | 申请日： | 2017-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN106908461B | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 熊旭明;江向峰;张永水;王延凯;桑洪波;贺昱旻 | 申请（专利权）人： | 苏州新材料研究所有限公司;北京布莱格科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/207 | 分类号： | G01N23/207 |
| 代理公司： | 北京工信联合知识产权代理有限公司 11266 | 代理人： | 朱振德;张荣 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平面内多晶织构的测量方法。包括：采用X射线管发出X射线，所述X射线为线焦斑；使用Sollar狭缝限制X射线在线焦斑长度方向的发散，并使用发散狭缝控制所述X射线在垂直于线焦斑方向的发散；使呈线焦斑的X射线照射到待测产品上，并使用X射线探测器接收待测产品衍射的X射线；控制所述X射线管与所述X射线探测器对待测样品进行Phi扫描，并由X射线探测器记录接收到的待测产品衍射的X射线的强度，根据待测产品衍射的X射线的强度的变化得出待测产品的平面内多晶织构。本发明的测量速度相比于现有技术有了很大的提高，测量值的波动范围也大幅度减少。并保持了测量的精度。同时，本发明具有低成本优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 多晶 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种平面内多晶织构的测量方法，其特征在于，包括：采用X射线管发出X射线，所述X射线为线焦斑；使用Sollar狭缝限制X射线在线焦斑长度方向的发散，并使用发散狭缝控制所述X射线在垂直于线焦斑方向的发散；使呈线焦斑的X射线照射到待测产品上，并使用X射线探测器接收待测产品衍射的X射线，采用Bragg Brentano 聚焦衍射几何光路且带接收侧Sollar狭缝，再由所述X射线探测器接收；所述X射线管发出的X射线与经待测产品衍射后的X射线构成衍射面，所述X射线衍射面的法向与待测产品平面的法向的夹角Kai根据平面内织构的测量要求，设置为15‑75度范围的某一个特定的角度；控制所述X射线管与所述X射线探测器对待测样品进行Phi扫描，并由X射线探测器记录接收到的待测产品衍射的X射线的强度，根据待测产品衍射的X射线的强度的变化得出待测产品的平面内多晶织构。
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